インラインスパッタリング装置（株式会社アルバック製 SDP-850VT）の該非判定方法
new-nakamura～技術士による実務解説～
**インラインスパッタリング装置（株式会社アルバック製 SDP-850VT）**は、真空中で金属や酸化物などの薄膜を基板表面へ形成する量産用成膜装置です。
液晶ディスプレイ、電子部品、半導体関連製品、光学部品などの製造ラインで広く採用されており、日本の精密製造技術を支える代表的な生産設備の一つです。
このような高度な製造設備を海外へ輸出する場合には、外為法に基づく該非判定を適切に実施する必要があります。
インラインスパッタリング装置一式とは何を意味するのか
実務上、「スパッタリング装置一式」とは、本体だけを意味するものではありません。
一般的には次のような設備で構成されています。
- 真空チャンバー
- スパッタカソード
- ターゲット
- 真空排気装置
- 真空ポンプ
- ガス供給装置
- 基板搬送装置
- 基板加熱装置
- 冷却装置
- 電源装置（DC・RF等）
- 制御盤
- 制御コンピュータ
- 制御ソフトウェア
- 操作モニター
- 安全装置
- 付属品・部分品
- 補修部品
- 据付・保守マニュアル
- 提供技術
したがって、「設備一式」の該非判定では、本体だけではなく、一式を構成する貨物・ソフトウェア・提供技術まで含めて総合的に確認する必要があります。
該非判定で確認すべきポイント
技術士は、例えば次のような事項を確認します。
- 成膜方式
- 基板サイズ
- 真空性能
- 成膜材料
- ターゲット構成
- 電源方式（DC・RF等）
- 基板搬送方式
- 制御システム
- 制御ソフトウェア
- 提供技術の内容
- 保守技術の範囲
さらに、
付属設備、
補修部品、
制御ソフトウェア、
海外へ提供する技術資料についても確認する必要があります。
また、海外製部品やソフトウェアが組み込まれている場合には、**EAR（米国輸出管理規則）**の適用についても検討が必要になります。
技術士による総合的な該非判定
インラインスパッタリング装置は、
- 真空工学
- プラズマ工学
- 薄膜形成技術
- 電子制御技術
- 搬送技術
- ソフトウェア技術
など、多数の高度な技術から構成されています。
そのため、
装置名称や型式だけで該非判定を行うことはできません。
設備全体の構成、
性能仕様、
付属設備、
部分品、
補修部品、
提供技術まで含めた総合的な技術評価が必要になります。
特に、生産ライン全体の一部として輸出される場合には、設備全体との関係も考慮した該非判定が重要となります。
STGの該非判定サービス
株式会社サブラヒ・テクノロジスツ（STG）では、
インラインスパッタリング装置をはじめ、
各種真空成膜設備について、
- 該非判定書作成
- EAR確認
- 提供技術判定
- 付属品・部分品判定
- 補修部品判定
まで、一括して対応しております。
また、単体装置だけではなく、
生産設備一式
について、
現地調査を含めた総合的な該非判定を実施しております。
該非判定でお困りではありませんか？
STGでは、
貨物単体だけではなく、生産設備一式、付属品、部分品、補修部品、制御ソフトウェア、提供技術まで含めた総合的な該非判定を承っております。
技術士が直接対応し、お客様の設備構成に応じた実務的な該非判定書を作成いたします。
どうぞお気軽にお問い合わせください。
STGからのメッセージ
STGの最大の強みは、「設備一式」を対象とした該非判定です。
生産設備は、本体だけではなく、多数の付属設備、制御機器、ソフトウェア、補修部品、提供技術によって構成されています。
STGでは、それらを一体のシステムとして総合的に評価し、実際の輸出実務に役立つ該非判定をご提供いたします。
